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    GKI-22熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)
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    • 貨號

      GKI-22  

    • 服務(wù)

        參數(shù)定制，免費(fèi)培訓(xùn)，終身維護(hù)，售后無憂

    • 產(chǎn)品描述
    • 技術(shù)文檔
    • 常見問題

    主要配置

    蒸發(fā)腔體

    蒸發(fā)腔體為304不銹鋼，并有觀察窗

    真空泵

    配備冷凝泵或分子泵和無油機(jī)械泵

    真空閥門

    氣動控制高真空插板閥

    蒸發(fā)源

    多坩堝電子束蒸發(fā)源

    樣品室

    蒸發(fā)腔體為304不銹鋼，并有觀察窗

    樣品臺

    頂部安裝旋轉(zhuǎn)的樣品臺或側(cè)面安裝的轉(zhuǎn)角樣品臺

    膜厚檢測

    晶振膜厚監(jiān)控

    真空測量

    寬量程真空計(jì)用于測量真空和粗抽計(jì)

    主要技術(shù)指標(biāo)

    極限真空度

    優(yōu)于fkh-8托

    裝樣能力

    一個最大8英寸的平板基片或多個小基片

    蒸發(fā)速率分辨率

    0.05 Angstroms/sec

    膜厚分辨率

    0.02 Angstroms

     


  • 技術(shù)資料：技術(shù)資料包含產(chǎn)品說明書、電鏡圖、成分表、材質(zhì)單、粒度分析報(bào)告、技術(shù)方案、工藝流程、技術(shù)指標(biāo)、檢測報(bào)告等，請您聯(lián)系銷售工程師獲取。

    1.設(shè)備展示1.jpg2質(zhì)量與控制.jpg

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